반도체 약액 공급·세정 장비 제조용 테이프
약액 공급 장치(CDS·CCSS), 습식 세정 장비(Wet station), 스크러버, 칠러·열교환기, 웨이퍼 이송 모듈(EFEM)처럼 반도체 팹에 들어가는 장비는 약액·고온·클린룸 조건을 함께 견뎌야 합니다. 장비 조립 공정에서 쓰이는 실링·내약품·내열 테이프를 코어텍·tesa®·3M™ 제품으로 정리했습니다.
약액 공급 장치(CDS·CCSS), 습식 세정 장비(Wet station), 스크러버, 칠러·열교환기, 웨이퍼 이송 모듈(EFEM)처럼 반도체 팹에 들어가는 장비는 약액·고온·클린룸 조건을 함께 견뎌야 합니다. 장비 조립 공정에서 쓰이는 실링·내약품·내열 테이프를 코어텍·tesa®·3M™ 제품으로 정리했습니다. 장비 도어·패널 실링(패킹)용
| 제품명 | 종류·구조 | 주요 용도·특성 | 선정 시 확인사항 |
|---|---|---|---|
| tesa® 66701 | 흑색 독립기포 EPDM 고무 폼 단면, 아크릴 점착, 총 두께 1.6mm | 사용 온도 -40~115℃. 전기 함체·스위치 캐비닛, 출입문·점검구 실링, 진동 완충. 같은 계열로 3.2·4.8·6.4mm 등 두께 선택 가능 | EPDM은 산·알칼리 약액에 비교적 강하지만 유기용제에는 약함. 사용 약액 종류 확인 |
| 3M™ 4516 | 흑색 고밀도 독립기포 비닐(PVC) 폼 단면, 아크릴 점착, 두께 1.6mm | 먼지·습기 차단 가스켓, 완충·방진·단열. 곡면과 불규칙한 면에도 잘 따라붙고 금속·유리·플라스틱에 접착 | PVC 폼이라 클린룸 아웃가스·약액 접촉 부위는 사전 확인. 외장 패널·전장 박스 실링에 적합 |
| 코어텍 폼 단면 | 폼 기재 단면 테이프, 두께·폭 가공 대응 | 커버 틈새 실링, 부품 간 완충, 덕트·배관 관통부 마감 | 필요한 두께(예: 1T)와 폭을 정해 재고 규격 여부 확인. 비표준 규격은 최소 생산 수량 협의 |
※ 1mm 흑색 고무·TPE 패드처럼 표준 테이프에 없는 규격은 고무 시트에 점착제를 합지하는 가공품으로 만들어야 하며, 원단 단위 최소 수량이 있어 1롤 소량 제작은 어렵습니다. 소량이면 1.6mm 표준품으로 대체 가능한지 먼저 검토하는 것이 빠릅니다. 약액 배관·탱크 보호·식별용
| 제품명 | 종류·구조 | 주요 용도·특성 | 선정 시 확인사항 |
|---|---|---|---|
| 코어텍 테프론 | PTFE 함침 유리섬유 기재, 내열 단면 | 약액이 튈 수 있는 면의 보호, 이형·미끄럼면, 고온부 보호 | PTFE 기재는 약품에 강해도 점착제는 약액에 약할 수 있음. 가장자리로 약액이 스며드는지 확인 |
| 3M™ 5490 | PTFE 필름 단면, 실리콘 점착 | 내약품·저마찰 표면 보호, 이형면, 슈트·가이드 미끄럼면 | 실리콘 점착이라 도장·접착 공정 근처에서는 실리콘 오염 여부 확인 |
| 코어텍 PVC 단면 | PVC 필름 단면, 색상별 공급 | 약액 종류별 배관·밸브 색상 식별, 흐름 방향 표시, 배선 묶음 | 고객사 팹의 약액 식별 색상 기준에 맞춰 색상 선정 |
※ 습식 장비 내부에 쓰는 재료는 고객사 팹의 화재·난연 기준과 약액 호환성 기준을 따라야 하므로, 테이프 사용 위치를 장비 사양서 기준으로 먼저 확인해야 합니다. 히터·열교환기 주변 내열·절연용
| 제품명 | 종류·구조 | 주요 용도·특성 | 선정 시 확인사항 |
|---|---|---|---|
| tesa® 51408 | 폴리이미드 필름, 실리콘 점착, 총 두께 65㎛ | 연속 260℃ 내열, 난연(UL510), 내화학성·절연. 히터 배선·온도 센서 고정, 고온부 절연 | 얇아서 마모에 약함. 진동이 있는 배선은 고정 방식 병행 |
| 코어텍 FK02 | 폴리이미드(PI) 필름 단면 | 열교환기·히터 블록 주변 배선 절연, 센서 리드선 고정, 고온 마스킹 | 부착 위치의 실제 표면 온도를 측정해 사용 온도 범위 안인지 확인 |
| 3M™ 1350F-1 | 폴리에스터 필름 전기 절연 테이프 | 제어반·전원부 코일과 단자 절연, 배선 묶음 마감 | PI 대비 내열 등급이 낮으므로 고온부가 아닌 제어반 쪽에 사용 |
※ 열교환기·히터 주변은 정상 운전보다 이상 과열 시 온도를 기준으로 테이프 내열 등급을 정해야 합니다. 요구사항별 검토 방향
| 요구사항 | 검토 방향 |
|---|---|
| 흑색 1T 고무·TPE 패킹, 넓은 폭 소량 | 표준 1.6mm 흑색 폼 단면(tesa® 66701, 3M™ 4516)으로 대체 가능한지 압축량 기준으로 검토. 1T가 꼭 필요하면 시트 합지 가공품으로 최소 수량 협의 |
| 약액이 닿는 부위 실링 | 사용 약액(산·알칼리·용제)을 먼저 확인. 산·알칼리는 EPDM, 고온·강약품은 PTFE 계열 검토 |
| 클린룸 반입 장비 | 아웃가스·파티클 발생이 적은 기재 우선. 장비 내부용은 고객사 승인 자재 목록과 대조 |
| 히터·고온부 배선 고정 | PI 테이프(tesa® 51408, 코어텍 FK02) 우선, 과열 시 온도 기준으로 확인 |
제품 선정·샘플 상담 안내 장비 종류와 테이프를 붙일 위치, 접촉하는 약액, 운전 온도, 필요한 두께·폭·수량을 알려주시면 적합한 제품과 샘플을 안내해 드립니다. 표준에 없는 두께·폭은 가공 가능 여부와 최소 수량을 함께 확인해 드립니다.