## 반도체 계측·분석 장비 공급 및 측정 기술지원용 테이프
반도체 계측·분석 장비 업종은 웨이퍼 비저항·면저항, 이동도, 박막 두께, 내부 결함을 측정하는 장비와 원자힘현미경(AFM)·나노인덴터 같은 연구용 표면 분석 장비를 공급하고, 설치·응용기술·유지보수를 지원합니다. 제조 공정 테이프 사용량은 적은 편이지만, 측정 시료를 고정하고 접지하는 테이프와 클린룸 장비 설치·운용 테이프는 측정 결과와 현장 작업에 직접 영향을 줍니다. 용도별로 코어텍·3M·tesa 제품을 정리했습니다.
## 반도체 계측·분석 장비 공급 및 측정 기술지원용 테이프 반도체 계측·분석 장비 업종은 웨이퍼 비저항·면저항, 이동도, 박막 두께, 내부 결함을 측정하는 장비와 원자힘현미경(AFM)·나노인덴터 같은 연구용 표면 분석 장비를 공급하고, 설치·응용기술·유지보수를 지원합니다. 제조 공정 테이프 사용량은 적은 편이지만, 측정 시료를 고정하고 접지하는 테이프와 클린룸 장비 설치·운용 테이프는 측정 결과와 현장 작업에 직접 영향을 줍니다. 용도별로 코어텍·3M·tesa 제품을 정리했습니다. ### 측정·분석 시료 고정 및 접지용
| 제품명 | 종류·구조 | 주요 용도·특성 | 선정 시 확인사항 |
|---|---|---|---|
| 3M 9712 | 전도성 섬유가 든 아크릴 전사테이프(X·Y·Z 전 방향 도전), 두께 약 0.127mm | 분석 시료를 시료대에 붙이면서 전기적으로 연결해 대전 방지. 전자현미경 시료 고정에 널리 쓰임. 단기 121℃, 장기 70℃ | 측정 장비의 시료대 재질과 진공 사용 여부 확인 |
| tesa 60264 | 전도성 부직포 기재 양면, 전도성 아크릴 점착, 총 두께 17㎛ | 아주 얇아 시료 높이 변화가 거의 없는 접지 고정. Z 방향 접촉저항 0.02Ω/in², 단기 200℃ | 얇은 만큼 시료 뒷면 평탄도에 민감 |
| 코어텍 8010 | 초박막 PET 양면, 두께 10㎛ | 전도성이 필요 없는 소형 시료의 얇은 임시 고정. 점착력 700gf/in, 150℃ | 측정 후 시료 손상 없이 떼어지는지 확인 |
※ 나노인덴터처럼 시료를 눌러 기계적 특성을 재는 장비는 시료 아래 점착층이 눌리면서 측정값이 달라질 수 있습니다. 이런 장비는 테이프를 가장 얇게 쓰거나 장비 제조사가 권장하는 고정 방식(왁스·접착제 등)을 따르세요. ### 장비 설치·이전 및 클린룸 운용용
| 제품명 | 종류·구조 | 주요 용도·특성 | 선정 시 확인사항 |
|---|---|---|---|
| 코어텍 FN25 | PE 원컷(이지컷) 테이프, 아크릴 점착, 두께 140㎛ | 손으로 깔끔하게 잘려 먼지가 적음. 장비 반입·이전 시 도어·가동부 고정, 장기 보양 후에도 잔사가 적음. 점착력 500gf/in | 고객사 클린룸 반입 허용 자재 목록 확인 |
| 3M 40PR | 투명 폴리에스터 1mil, 전도성 고분자 아크릴 점착 | 정전기 보호 구역(EPA)에서 쓰는 대전방지 테이프. 웨이퍼 박스·차폐백 실링, 작업지시서 부착. 되감기·박리 시 대전 50V 미만(10%RH) | 웨이퍼 직접 접촉 부위에는 사용하지 않음 |
※ 장비 설치·유지보수는 고객사 팹 안에서 이루어져 반입 자재 기준이 엄격합니다. 기술지원 인력이 쓰는 테이프를 저분진·대전방지 품목으로 표준화해 두면 반입 절차가 간단해집니다. ### 요구사항별 검토 방향
| 요구사항 | 검토 방향 |
|---|---|
| 시료 고정 + 전기 접지 | 전 방향 도전 3M 9712, 초박형 tesa 60264 |
| 비전도 시료 얇은 고정 | 코어텍 8010 |
| 나노인덴터 등 기계적 측정 시료 | 점착층 영향 최소화(가장 얇은 테이프 또는 장비 제조사 권장 고정 방식) |
| 장비 반입·이전 고정·보양 | 저분진 원컷 코어텍 FN25 |
| 정전기 보호 구역 작업 | 대전방지 3M 40PR |
### 제품 선정·샘플 상담 안내 > 측정 장비 종류(비저항·이동도·타원계·결함 검사·AFM·나노인덴터), 시료 크기와 재질, 진공·온도 조건, 접지 필요 여부, 고객사 클린룸 반입 기준, 월 사용량을 알려주시면 적합한 제품과 샘플을 안내해 드립니다. 코어텍은 원하는 폭으로 재단하거나 시료대 모양대로 형상 가공(다이컷)해 공급할 수 있습니다.